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在晶片上完成电路图的光刻后，就要用探头工艺来掺入任何多余的降解薄膜且只留下晶圆电路图。要做到这一点需要利用液体、气体或自由电子来掺入选取的多余部分。

探头的法则主要统称两种，不同所使用的物质：使用特定的化学溶液进行化学反应来掺入降解薄膜的湿法探头，以及使用气体或自由电子的干法探头。

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